Геттерные насосы (NEG насосы)

Геттерные насосы работают с нераспыляемыми, компактными геттерными материалами, поверхности которых имеют поры атомного уровня, так что они могут поглощать большое количество газа. Молекулы газа, адсорбированные на поверхности геттера, быстро диффундируют внутрь материала, поэтому на поверхности возможно поглощение других молекул. Насосы с нераспыляемыми геттерами содержат нагревательные материалы, которые используются для нагрева геттеров до оптимальной температуры в зависимости от рода откачиваемого газа. При более высокой температуре Геттерные материалы, которые уже насыщены газом, начнут регенерироваться (активируются). Геттерные материалы, в основном цинк-алюминиевые сплавы, используются в виде полосок. Особенностями NEG насосов являются:

  • постоянная скорость откачки в высоком и сверхвысоком вакууме,
  • допустимое давление до 12 мбар,
  • достигается очень высокая быстрота откачки для водорода и его изотопов,
  • после активации насос может работать при комнатной температуре без необходимости использования электрической энергии,
  • нет магнитных полей,
  • безмасляный вакуум,
  • отсутствие вибраций,
  • низкий вес.

NEG насосы в основном используются вместе с другими высоковакуумными насосами (турбомолекулярным и криогенным). Такая комбинация особенно эффективна при необходимости понизить предельное давление в сверхвысоковакуумных системах, т.к. в основном водород влияет на предельное давление в сверхвысоковакуумных системах, а его NEG насосы хорошо откачивают. Типовым использованием NEG насосов является их использование в ускорителях частиц и подобных исследовательских системах, приборах для анализа поверхности, вторично-электронных умножителях и системах распыления. NEG насосы выпускаются с быстротой действия от нескольких л/с до 1000 л/с. Изготовленные по заказу такие насосы могут откачивать водород на несколько порядков выше.