Классификация вакуумных насосов (таблица)

классификация вакуумных насосов

Вакуумные насосы используются для понижения
давления газа в объеме и, таким образом, плотности газа (см. выражение 1.5). Рассмотрим частицы газа, удаляемые из объема. Выделяются два класса вакуумных насосов по принципу удаления частиц:

  • вакуумные насосы, в которых через одну или несколько ступеней компрессии час-
    тицы газа удаляются из откачиваемого объема и попадают в атмосферу (компрессионные насосы). Частички газа откачиваются за счет перемещения или передачи импульса.
  • вакуумные насосы, в которых частицы газа удаляются с помощью конденсации
    или другим путем (т.е. химически) осаждаясь на поверхности, являющейся границей этого объема.

Классификация, которая более совпадает с реальным и практическим применением, подразделяет следующие типы насосов, в которых выделяются три класса компрессионных насосов и два класса конденсационных и геттерных насосов:

  1. Насосы, которые работают с периодическим увеличением и уменьшением камер
    насоса (пластинчато-роторные, плунжерные, поршневые).
  2. Насосы, которые переносят количество газа со стороны низкого давления к высо-
    кому давлению без изменения объема камер насоса (насосы Рутса и турбомолекулярные).
  3. Насосы, в которых откачка базируется на процессах диффузии газов в поток пара с
    высокой скоростью (пароструйные насосы).
  4. Насосы, которые откачивают пары за счет конденсации (конденсаторы) газа и
    насосы, которые откачивают газы за счет конденсации их при низких температурах
    (крионасосы).
  5. Насосы, которые поглощают газы за счет адсорбции или адсорбции на поверхности, свободной от газов (сорбционные насосы).
Summary
Review Date
Author Rating
51star1star1star1star1star