fbpx
Главная Датчики Анализаторы остаточных газов Анализатор остаточных газов с закрытым ионным источником CIS200

Анализатор остаточных газов с закрытым ионным источником CIS200

794,706.00

Значительным отличием анализаторов CIS является использование ионизатора
из коррозионно-стойких материалов что позволяет использовать ионизатор с
закрытым ионным источником для анализа коррозионных газов (таких как
WF6 или с..

Артикул: 959a22ee4f2a Категории: ,

Описание

Значительным отличием анализаторов CIS является использование ионизатора
из коррозионно-стойких материалов что позволяет использовать ионизатор с
закрытым ионным источником для анализа коррозионных газов (таких как
WF6 или силан)

Анализатор остаточных газов
Диапазон масс 100а.е.м. 200а.е.м. 300а.е.м.
Тип фильтра масс

квадрупольный

Детектор Чашка Фарадея FC и Электронный умножитель EM
Разрешение

лучше 0,5а.е.м. 10% по высоте пика

Рабочая температура 70С макс
Ионизатор
тип Закрытый источник ионов, цилиндрический
Нить накала

Вольфрамовая и ThO2/Ir

Энергия электронов eV 25-105В программируемая
Энергия ионов eV

4-8В программируемая

Напряжение фокуса

0-150В программируемая

Ток электронной эмиссии 0-1мА программируемый

Смотрите так же

Это вас заинтересует!