Рекомендации по работе с турбомолекулярными насосами

Запуск

Как правило, турбомолекулярные насосы включаются вместе с форвакуумным насосом, чтобы снизить обратный поток масла от насоса в вакуумную камеру. Задержка запуска турбомолеклярного насоса существует для маленьких форвакуумных насосов и больших вакуумных камер. При известной быстроте действия форвакуумного насоса Sv(м3/ч) и известном объеме вакуумной камеры (м3) можно определить давление включения турбомолекулярного насоса:

Одновременный запуск при

И задержка запуска при

При давлении включения

При откачке больших объемов давление запуска турбомолекулярных насосов можно определить с помощью графика на рис. 2.58.

Напуск

После выключения или в случае сбоя в подаче питания всегда следует проводить напуск турбомолекулярного насоса для предотвращения обратного потока углеводородов из форвакуума в вакуумную камеру. После выключения насоса следует так же выключать подачу охлаждающей воды, чтобы предотвратить возможную конденсацию паров воды. Чтобы защитить ротор рекомендуется соблюдать минимальное время напуска, указанное в руководстве по эксплуатации. Следует проводить напуск насоса (за исключением случаев работы с газами барьера/продувки) через фланец (порт) напуска, который уже оборудован спеченым металлическим дросселем, поэтому напуск можно проводить через обычный клапан или клапан напуска при отключении питания.

Работа с газом барьера

Если турбомолекулярный насос оборудован функцией работы с газом барьера (газом продувки), инертный газ, такой как азот, может подаваться через специальный фланец для защиты двигателя и подшипников от воздействия агрессивной среды. Специальный клапан (натекатель) отмеряет необходимое количество газа и может работать как клапан напуска.

Устранение вибраций

Насосы зарекомендовавших себя производителей точно сбалансированы и могут подсоединятся прямо к системе. Только для высокочувствительных приборов (таких как электронные микроскопы) рекомендуется устанавливать виброизоляторы, которые снижают существующие вибрации до минимума. Насосы с магнитным подвесом обычно напрямую подсоединяют к системе, т.к. они создают очень низкие вибрации.

Для особых областей применения, таких как работа в сильных магнитных полях, областях с повышенной радиацией или среде трития, обращайтесь в Отдел Продаж, специалисты которого имеют необходимый опыт.