Сорбционные насосы принцип действия и виды

Термин «Сорбционные насосы» объединяет весь диапазон средств для удаления газов и паров из объема путем сорбции (поглощения). Частички откачиваемого газа связываются на поверхности или приникают внутрь этих агентов за счет сил физической адсорбции, зависящей от температуры (силы Ван дер Вальса), хемосорбции, адсорбции или внедрения во время непрерывного образования новой сорбирующей поверхности.

При сравнении принципов действия можно выделить адсорбционные насосы, в которых поглощение газов происходит за счет процессов адсорбции при температурном управлении, и геттерные насосы, в которых поглощение и удержание газов в основном происходит за счет образования химических соединений. Газопоглощение происходит на чистых, в основном металлических поверхностях, которые не покрыты оксидными и карбидными слоями. Такие поверхности всегда формируются во время производства, установки или при напуске системы.

Большинство металлических поверхностей геттеров высокой чистоты непрерывно создаются прямо в вакууме за счет испарения (испарительный ионно-сорбционный насос) или за счет распыления (геттерный насос) или пассивацией слоя поверхности геттера (металла) при удалении за счет дегазации в вакууме, т.к. чистые металлы подвергаются воздействию в вакууме. Это называется активацией (NEG насосы – насосы с нераспыляемым геттером).

Адсорбционные насосы

Сублимационные насосы

Магниторазрядные насосы

Геттерные насосы (NEG насосы)