Вакуумные золотниковые насосы предназначены для создания среднего и глубокого вакуума. Среда для откачки: воздух, неагрессивные газы, предварительно очищенные от пыли, аэрозолей, капельной фазы.

На рис. показано сечение плунжерного насоса с одной ступенью. Здесь поршень 2, который двигается поступательно за счет вращения эксцентрика 3 по стенке камеры. Газ, который попадает в насос через входной порт 11 проходит через канал всасывания золотникового клапана 12 в рабочую камеру 14. Золотниковый клапан образует блок с поршнем и скользит туда-сюда между вращающимся регулирующим клапаном в корпусе (шарнир 13). Втекающий в насос газ попадает в рабочую (компрессионную) камеру 4. При повороте поршень сжимает газ, пока он не
выйдет через клапан с масляным уплотнением 5.

Как и в пластинчато-роторных насосах, масляный резервуар используется для смазки, уплотнения, заполнения вредного пространства и охлаждения. Т.к. камера делится поршнем на два отделения, каждый поворот завершает рабочий цикл. Золотниковые насосы выпускаются одно и двухступенчатыми. Для большинства вакуумных процессов комбинация насоса Рутса с одноступенчатым золотниковым насосом может быть более предпочтительна, чем использование одного двухступенчатого золотникового насоса. Если такая комбинация или двухступенчатый насос могут работать неадекватно, рекомендуется использовать насос Рутса с двухступенчатым насосом. Не допустимо использование комбинации пластинчато-роторных насосов и насосов Рутса.