Все вакуумные пластинчато роторные насосы требуют своевременного обслуживания и ухода. Во время вакуумных технологических процессов в вакуумной камере могут находиться вещества, вредные для работы насосов.

Удаление паров воды

Водяной пар появляется во влажных вакуумных процессах. Он может привести к нанесению воды во входном трубопроводе. Если конденсат достигает входного порта насоса, то происходит загрязнение масла насоса. В этом случае характеристики насосов с масляным уплотнением ухудшатся. Более того, пары воды, прошедшие через выходной клапан насоса могут конденсироваться в выходном трубопроводе. Конденсат может (если выхлопной трубопровод сконструирован некорректно) подниматься обратно внутрь насоса через выхлопной клапан насоса. Поэтому при наличии паров воды или других паров рекомендуется использовать конденсирующие ловушки. Если к выходу насоса не подключен насос газобалласта (т.е. маленький пластинчатороторный насос), то рекомендуется устанавливать выхлопные фильтры. Они улавливают пары масла (масляный туман), выходящий из насоса.

Некоторые насосы оборудованы фильтрами со сменными картриджами, которые не только удерживают масляный туман, но и очищают масло, циркулирующее в насосе. Когда количество присутствующих паров воды превышает допустимость паров воды для насоса, следует всегда устанавливать конденсатор между насосом и вакуумной камерой (см. раздел 2.1.5).

Удаление пыли

Твердые частицы, такие как пыль и грязь, значительно повышают износ поршней и внутренних поверхностей насосов. Если есть опасность попадания твердых частиц в насос, то на входной порт насоса следует устанавливать сепараторы или пылевые фильтры. Сегодня выпускаются не только стандартные фильтры, имеющие большой корпус, но и сетчатые фильтры, устанавливаемые в центрирующее кольцо маленького фланца. При необходимости рекомендуется расширять поперечное сечение с помощью KF адаптера.

Удаление паров масла

На предельное давление сильно влияет наличие паров воды и углеводородов из масла насоса. Даже в двухступенчатых пластинчато-роторных насосах нельзя избежать небольшого обратного потока молекул масла в вакуумную камеру. Для получения безмасляного или сверхвысокого вакуума, например, с помощью магниторазрядных или турбомолекулярных насосов с форвакуумной стороны этих насосов так же необходимо обеспечить отсутствие паров масла. Чтобы получить безмасляный вакуум используют адсорбционную ловушку для среднего вакуума, заполненную подходящим адсорбентом (т.е. с LINDE молекулярным ситом 13Х), установленную на входном порту масляного форвакуумного насоса. Принцип работы сорбционной ловушки аналогичен адсорбционному насосу. Если форвакуумные адсорбционные ловушки установлены на входе пластинчато-роторного насоса с масляным уплотнением, работающим непрерывно, рекомендуется параллельно устанавливать две адсорбционные ловушки, разделив их клапаном. Эксперименты показывают, что цеолиты, используемые в качестве адсорбентов, теряют большую часть емкости адсорбции через 10-14 дней работы, после которых можно использовать другую, восстановленную ловушку, и процесс может не прерываться. При нагреве адсорбционной ловушки, неподключенной к трубопроводу откачки, пары покинут поверхность цеолита, и их можно будет откачать с помощью дополнительного насоса. При работе, предотвращается понижение адсорбционной ловушки.

Снижение эффективной быстроты откачки

Все фильтры, конденсаторы, сепараторы, клапаны во входном трубопроводе снижают эффективную быстроту действия насоса. На основе про водимости (или сопротивления) клапанов, сообщаемой производителями, можно рассчитать действующую быстроту действия насоса.