Сублимационные насосы являются сорбционными насосами, в которых геттерные материалы испаряются и осаждаются на холодной внутренней стенке в виде геттерной пленки. На поверхности такой геттерной пленки молекулы газа образуют стабильные соединения, имеющие неизмеримо низкое давление паров. Активная геттерная пленка обновляется при последующем испарении. Обычно в качестве геттера в сублимационных насосах используется титан. Титан испаряется из проволоки, сделанной из специального сплава с высоким содержанием титана, нагреваемым электрическим током. Хотя оптимальную емкость сорбции (около 1 атома азота на 1 атом титана) едва удается получить на практике, титановые сублимационные насосы имеют очень высокие быстроты действия для активных газов, которые особенно при начале процесса или при случайном выходе большого количества газа нужно быстро откачать. Т.к. сублимационные насосы работают в качестве дополнительных насосов (бустеров) для магниторазрядных и турбомолекулярных, то их установка необходима (как бустер в пароструйных насосах).
