Многие высоковакуумные насосные системы включают в себя пароструйный диффузионный пароструйный насос и механический насос. Диффузионный вакуумный насос начинает свою работу после того как при помощи механического насоса достигаются нужные для работы диффузионнного насоса условий. Механические вакуумные насосы используются для откачки приблизительно 99,99% воздуха из камеры, уменьшая давление в вакуумной системе до нужного рабочего диапазона. Этот процесс широко известен под названием предварительное разрежение. После достижения соответствующих условий потока и давления газа (обычно от 10-1 до 10-3 Торр) запускают пароструйный насос. Механический насос теперь используется для поддержания соответствующих условий выпускного давления для пароструйного насоса у соединения с форвакуумной линией. Этот процесс называется форвакуумированием.
Пароструйные насосы обычно используются, когда необходима высокая постоянная быстрота откачки для всех газов в течение продолжительного времени без необходимости осуществления постоянного контроля. В сущности они представляют собой паровые эжекторные насосы, модифицированные для создания высокого вакуума. В прошлом вопросам диффузии и конденсации паров уделялось неоправданно большое внимание, в результате чего насос получил первоначальное название.
Базовая форма конструкции была создана еще 70 лет назад. Современные насосы направляют паровой поток с высокой скоростью в направлении откачки. Захват откачиваемого газа данным потоком в принципе мало отличается от паровых эжекторов или других паровых насосов и компрессоров. Первоначальной рабочей жидкостью насоса была ртуть. Масла впервые стали использоваться в 1928 году. Силиконовые масла для паромасляных вакуумных насосов тоже используются.
