Вакуумные насосы используются для понижения
давления газа в объеме и, таким образом, плотности газа (см. выражение 1.5). Рассмотрим частицы газа, удаляемые из объема. Выделяются два класса вакуумных насосов по принципу удаления частиц:
- вакуумные насосы, в которых через одну или несколько ступеней компрессии час-
тицы газа удаляются из откачиваемого объема и попадают в атмосферу (компрессионные насосы). Частички газа откачиваются за счет перемещения или передачи импульса. - вакуумные насосы, в которых частицы газа удаляются с помощью конденсации
или другим путем (т.е. химически) осаждаясь на поверхности, являющейся границей этого объема.
Классификация, которая более совпадает с реальным и практическим применением, подразделяет следующие типы насосов, в которых выделяются три класса компрессионных насосов и два класса конденсационных и геттерных насосов:
- Насосы, которые работают с периодическим увеличением и уменьшением камер
насоса (пластинчато-роторные, плунжерные, поршневые). - Насосы, которые переносят количество газа со стороны низкого давления к высо-
кому давлению без изменения объема камер насоса (насосы Рутса и турбомолекулярные). - Насосы, в которых откачка базируется на процессах диффузии газов в поток пара с
высокой скоростью (пароструйные насосы). - Насосы, которые откачивают пары за счет конденсации (конденсаторы) газа и
насосы, которые откачивают газы за счет конденсации их при низких температурах
(крионасосы). - Насосы, которые поглощают газы за счет адсорбции или адсорбции на поверхности, свободной от газов (сорбционные насосы).
