Спиральные насосы Leybold Scrollvac

Спиральные насосы Scrollvac от компании Oerlicon Leybold, Швейцария. Французский инженер Leon Croix в начале XX века описал принцип работы спирального вакуумного насоса (СВН), сегодня эти изделия распространяются по всему миру в качестве универсальных систем по безмасляной откачки.

Спиральные насосы Leybold Scrollvac

Принцип работы

Основное действие происходит в двух спиралях Архимеда, одна из которых подвижна, а другая жёстко закреплена. Орбитальное движение первой эвольвентной кривой создаёт разные по объёму серповидные камеры, в которых откачиваемый газ движется к центру насоса. Газ сжимается, так как камеры постепенно уменьшаются в объёме, и в середине изделия удаляется через выпускной клапан, расположенный на неподвижной спирали. СВН отличаются малыми размерами, высокой производительностью и низким остаточным движением — 10-2 — 10-3 мм. рт. ст., они могут создавать абсолютно чистый вакуум и функционируют с весьма высокой эффективностью в течение всего производственного процесса.

 

Достоинства

  1. Нет паров масла, из-за отсутствия смазки.
  2. Высокий КПД.
  3. Низкая вибрация и шумовое воздействие.
  4. Малые величины остаточного давления.
  5. Небольшие габариты и вес.
  6. Воздушная система охлаждения.
  7. Низкие затраты по электроэнергии.
  8. Есть встроенный счётчик часов наработки.

 

Применение

  1. Промышленные лазеры.
  2. Электронно-лучевая сварка.
  3. Системы течеискания.
  4. Инструменты по анализу поверхностей.
  5. Электронные микроскопы.
  6. Различные спектрометры.
  7. Промышленное производство ламп.

 

Технические характеристики спиральных насосов Oerlikon SCROLLVAC

Характеристики / № изделия 5 15 30 60
nominal скорость откачки, м3 5,4 15,0 30,0 60,0
Производительность, м3 4,8 13,0 26,0 52,0
Остаточное давление, мбар 5,0х10-2 1,6х10-2 1,0х10-2 5,0х10-2
Давление, мбар 0,06 0,11 0,05 0,03
Производительность water vapour, г/ч 0,20 1,04
Расход продувочного газа, л/мин 9,0 10,0
Уровень шума:

с продувочным газом;

без продувочного газа

 

52,0

57,0

 

58,0

66,0

 

62,0

70,0

 

67,0

74,0

Натекание, мбар 1,0х10-6 1,0х10-4
Питание электродвигателя, В 200,0 380-415
Мощность электродвигателя, Вт 150,0 400,0 1400
Скорость вращения ротора, об/мин 1140,0 1450 1460
Вес изделия, кг 14,0 25,0 44,0 60,0