Спиральные насосы Scrollvac от компании Oerlicon Leybold, Швейцария. Французский инженер Leon Croix в начале XX века описал принцип работы спирального вакуумного насоса (СВН), сегодня эти изделия распространяются по всему миру в качестве универсальных систем по безмасляной откачки.
Принцип работы
Основное действие происходит в двух спиралях Архимеда, одна из которых подвижна, а другая жёстко закреплена. Орбитальное движение первой эвольвентной кривой создаёт разные по объёму серповидные камеры, в которых откачиваемый газ движется к центру насоса. Газ сжимается, так как камеры постепенно уменьшаются в объёме, и в середине изделия удаляется через выпускной клапан, расположенный на неподвижной спирали. СВН отличаются малыми размерами, высокой производительностью и низким остаточным движением — 10-2 — 10-3 мм. рт. ст., они могут создавать абсолютно чистый вакуум и функционируют с весьма высокой эффективностью в течение всего производственного процесса.
Достоинства
- Нет паров масла, из-за отсутствия смазки.
- Высокий КПД.
- Низкая вибрация и шумовое воздействие.
- Малые величины остаточного давления.
- Небольшие габариты и вес.
- Воздушная система охлаждения.
- Низкие затраты по электроэнергии.
- Есть встроенный счётчик часов наработки.
Применение
- Промышленные лазеры.
- Электронно-лучевая сварка.
- Системы течеискания.
- Инструменты по анализу поверхностей.
- Электронные микроскопы.
- Различные спектрометры.
- Промышленное производство ламп.
Технические характеристики спиральных насосов Oerlikon SCROLLVAC
Характеристики / № изделия | 5 | 15 | 30 | 60 |
nominal скорость откачки, м3/ч | 5,4 | 15,0 | 30,0 | 60,0 |
Производительность, м3/ч | 4,8 | 13,0 | 26,0 | 52,0 |
Остаточное давление, мбар | 5,0х10-2 | 1,6х10-2 | 1,0х10-2 | 5,0х10-2 |
Давление, мбар | 0,06 | 0,11 | 0,05 | 0,03 |
Производительность water vapour, г/ч | 0,20 | 1,04 | ||
Расход продувочного газа, л/мин | 9,0 | 10,0 | ||
Уровень шума:
с продувочным газом; без продувочного газа |
52,0 57,0 |
58,0 66,0 |
62,0 70,0 |
67,0 74,0 |
Натекание, мбар | 1,0х10-6 | 1,0х10-4 | ||
Питание электродвигателя, В | 200,0 | 380-415 | ||
Мощность электродвигателя, Вт | 150,0 | 400,0 | 1400 | |
Скорость вращения ротора, об/мин | 1140,0 | 1450 | 1460 | |
Вес изделия, кг | 14,0 | 25,0 | 44,0 | 60,0 |