Таблица характеристик пластинчанто роторных насосов Leybold (trivac a, trivac b, trivac e, sogevac)
Пластинчато-роторные насосы состоят из цилиндрического корпуса (откачного
кольца) 1 в котором со смещением подвешен ротор (2), вращающийся в направлении, указанном стрелкой. Ротор снабжен пластинами 16, которые прижимаются к стенкам с усилием, создаваемым пружиной, т.е. пластины скользят по внутренней поверхности корпуса. Газ, попадающий на вход 4, проталкивается пластиной и выталкивается из
насоса с помощью выхлопного клапана с масляным уплотнением 12.
В старых моделях насосов TRIVAC A производства LEYBOLD находится три пластины, расположенные радиально под углом 120°. Насосы TRIVAC B оборудованы двумя пластинами под углом 180°. В обоих случаях пластины прижимаются к стенке корпуса без использования пружин. При низких температурах окружающего воздуха эта особенность требует использования масла пониженной вязкости. Насосы серии А смазываются при повышении перепада давления, в то время как насосы серии В
оборудованы шестеренным масляным насосом для обеспечения давления смазки. Насосы TRIVAC серии В оборудованы высоко надежным предохранительным клапаном и горизонтальным или вертикальным выравниванием для входного и выходного портов.
Смотровые окна с указателем уровня масла и газобалласт расположены на одной стороне масляной коробки (для удобства пользователя). В комбинации с системой TRIVAC BСS насос может использоваться с широким диапазоном принадлежностей, разработанных в основном для полупроводниковой промышленности. Масляный резервуар пластинчато-роторного насоса и другие масла, уплотняющие насос служат для смазки и уплотнения насоса, а так же заполняют вредное пространство в щелях. Масло отводит тепло, создаваемое при сжатии газа, т.е. охлаждает насос. Масло обеспечивает уплотнение между ротором и кольцом насоса. Эти компоненты находятся почти в постоянном контакте по прямой (линии на цилиндре корпуса). Чтобы повысить уплотняющую поверхность масла и в откачивающее кольцо встраивается так называемое уплотнение прохода (рис.2.4). Оно обеспечивает лучшее уплотнение и дает высокий коэффициент компрессии или низкое предельное давление. Компания LEYBOLD выпускает три различных диапазона пластинчато-роторных насосов, специально адаптированных для различных областей применения, где используется высокое входное давление, необходимо низкое предельное
давление или технологических процессов в полупроводниковой промышленности. . Пластинчато-роторные насосы TRIVAC выпускаются одноступенчатые (TRIVAC S) и двухступенчатые (TRIVAC D) (см. рис.2.7). Двухступенчатые насосы с масляным уплотнением позволяют получить более низкое рабочее и предельное давления чем одноступенчатые. Причиной этого является тот факт, что в одноступенчатых насосах масло находится в нежелательном контакте с атмосферой, из которой газы могут
попадать в вакуум, ухудшая предельное давление. В двухступенчатых насосах производства LEYBOLD, масло, которое прошло дегазацию, подается на ступень со стороны вакуума (1-ая ступень на рис. 2.7): предельное давление лежит почти в области высокого вакуума, а самое низкое рабочее давление – в области среднего/высокого вакуума.
Замечание: работа высоковакуумной (первой) ступени с небольшим количество масла или без масла – несмотря на низкое предельное давление – создает на практике значительные трудности и будет значительно ухудшать работу насоса.
